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IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器—

IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器

attocube的FPS和IDS系列創(chuàng)新性光電測距傳感器的精度、速度和小型化程度遠超目前市面上的同類測量設備。基于專利的光纖型干涉測量原理，該系列傳感器具有極為出色的精度和穩(wěn)定性，同時由于高度集成化的設計，系統(tǒng)的裝調異常簡單，甚至可以在非常狹小的空間內進行安裝和工作。光纖化的傳感頭可以在諸如超高真空、低溫甚至強輻射環(huán)境下工作。

attocube的FPS和IDS兩個產(chǎn)品系列可以滿足不同的市場需求。FPS系列具有集成化的測量功能，且?guī)в懈呒壏治龉δ�，非常適合無接觸、超高精度位置測量，可快速得到數(shù)據(jù)反饋。典型應用包括質量控制和高端科研領域。相對而言，IDS傳感器主要針對設備內集成以及常用工業(yè)網(wǎng)絡的無縫連接，兼容多種工業(yè)控制總線，并完全符合工業(yè)4.0標準。

attocube的FPS和IDS光電測距傳感器可以實現(xiàn)達2m/s高速測量，屬于激光測速測距傳感器；同時，配以附件，以及內部數(shù)據(jù)采集處理單元，還能實現(xiàn)高速測角儀功能。支持高寬帶高精度測量，滿足高速測角要求

超高緊湊體積（50×55×195mm），易于工業(yè)集成。傳感器可直接集成到機床，3坐標測量系統(tǒng)及半導體設備等設備上。

支持工業(yè)結構，提供實時數(shù)字接口（HSSL，AquadB）以及模擬（sin/cos）位置數(shù)據(jù)。臺提供如CANopen，Profibus，Profibus RT，EtherCAT以及Biss-C等。

支持三軸測量，最大測距達5m。

內置用于裝調的可見光激光器，安裝簡易便捷。

采用法布里-珀羅干涉儀原理。

可工作在10MGy強輻射環(huán)境下。

目標值測量帶寬達10MHz，分辨率達1pm。相對于傳感器位移速度可達2m/s。

配有ECU環(huán)境補償單元，在極端環(huán)境下，長距離測量精度可達±1ppm。

以太網(wǎng)Web界面（工業(yè)4.0）

緊湊，適用于設備集成

3軸：測量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運動yaw

易于集成（僅Ø1.2mm，重量僅幾克）

實時通訊接口：HSSL，AquadB和Sin / Cos

動態(tài)（增益和偏移）重新調整

傳感器頭適用于極端環(huán)境：

低溫和高溫（最高450°C），UHV兼容性，

強輻射（高達10MGy）和高磁場