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外延石英鐘罩清洗機 

概述：外延石英鐘罩清洗機 適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導體材料行業(yè)；手動、自動控制模式； 適用對象參數為

刷新時間：
2025-09-10 10:06:52 點擊1226次
服務區(qū)域：
北京/大興/北京經濟技術開發(fā)區(qū)
聯(lián)系電話：
13911568117 王經理
QQ：
190888756
信用：4.0  隱性收費：4.0
描述：4.0  產品質量：4.0
物流：4.0  服務態(tài)度：4.0
默認4分 我要打分
外延石英鐘罩清洗機
適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導體材料行業(yè)；手動、自動控制模式；
適用對象參數為9010mm*1170mm的1 件/ Batch；471mm*155mm數量1 件/ Batch；1200mm* Φ417mm數量1 件/ Batch；900mm石英件數量1 件/ Batch；機臺封面為聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)；整體骨架表面噴涂處理 ；機臺視窗為透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)   ；配有蝕刻液恒溫系統(tǒng)、 蝕刻液循環(huán)過濾系統(tǒng)、 二流體噴淋系統(tǒng)（CGB專利技術）、 全自動烘干系統(tǒng)； 可結合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理； 全程自動控制，工藝生產過程中不用人工干預，保證產品性能的一致性； 采用CGB專利技術，鐘罩靜止等待，通過二流體及噴淋助力裝置完成均勻蝕刻清洗；全自動烘干系統(tǒng)；多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；作業(yè)區(qū)內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全； 客制化設計能力佳，高設計能力滿足客戶制程工藝需要；制程控制為PLC控制方式；全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）；設備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）13911568117；
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