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SIMCO離子風(fēng)棒5635 

概述：簡 介 5635型MP離子風(fēng)棒，是對應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。

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簡 介 5635型MP離子風(fēng)棒，是對應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。 特點(diǎn)： Ø 采用在世界上無與倫比的電極材料單晶硅的優(yōu)勢，避免超低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)。 Ø 通過獨(dú)特的MP（脈沖調(diào)制）方式，可以有效的發(fā)揮離子除電性能。 Ø 平衡的電位，即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長且離子平衡度好。 Ø 通過智能控制電路，可自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)及離子平衡度。 Ø 1/4圈可以拆卸更換電極，有助于減少維護(hù)工時(shí)。 Ø 電位波動(dòng)小的MP方式的特性，簡化了組裝。另外，電位波動(dòng)小可以保持離子平衡度在管理的基準(zhǔn)內(nèi)。 Ø 設(shè)定了適合半導(dǎo)體前工序EFEM用的除靜電棒長度。 Ø 內(nèi)置24V DC驅(qū)動(dòng)控制器的小巧緊湊型設(shè)計(jì)。 Ø 可用于全球高層次網(wǎng)絡(luò)。 產(chǎn) 品 規(guī) 格 輸入電壓 24V DC + / -10％ 輸出電壓 最大可調(diào)至約13.5kv PP 安裝距離 100毫米?1000毫米（無空氣凈化） 離子生成方式 電暈放電法 PM（脈沖變調(diào)）方式 變動(dòng)頻率　1 ～　33 Hz 離子平衡度 自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)方法
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