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白光干涉儀測薄膜表面起伏 

概述：各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。用光學(xué)干涉原理研制成的中圖儀器

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各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。用光學(xué)干涉原理研制成的中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀，為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

玻璃表面臺階檢測

透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，因?yàn)槠浞峭该魈匦裕∧y厚儀沒有辦法測膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級別的，不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺階儀，都存在測量誤差，而中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1白光干涉儀的測量精度達(dá)到亞納米級，可以對膜層厚度進(jìn)行一鍵測量。

儀器軟件對兩臺階高的檢測


光學(xué)透鏡檢測
球面透鏡在可見光領(lǐng)域是一種基礎(chǔ)光學(xué)器件，其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響，中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可以對這兩項(xiàng)參數(shù)同時(shí)進(jìn)行檢測。

某型號雙膠合透鏡的曲率半徑和表面粗糙度檢測


SuperViewW1白光干涉儀適合檢測的樣品按領(lǐng)域分為消費(fèi)電子類、半導(dǎo)體封裝、超精密加工（機(jī)械、光學(xué)）、微納材料這四個(gè)大的領(lǐng)域。超精密加工這個(gè)行業(yè)覆蓋面比較廣，包括航空航天上用到精密零部件，包括金屬、陶瓷片和石英制的精密器件，大多數(shù)由于要求在檢測過程中不能劃傷器件表面，因此在檢測方式上需要采用非接觸式的方式，因而需要用白光干涉儀這類儀器。

白光干涉儀測薄膜表面起伏
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